吸着力コントロールシステムの採用により、吸着力の強弱を制御してフィルム等の軟質材ワークを、吸着穴に吸着保持する際ディンプル状に変形するのを予防すると共に、ポーラステーブルの採用により、木目の細かい吸着穴でワークを保持する為、ワークに対するダメージを回避し、歩留り向上に貢献しています。
複数系統、特殊形状で吸着するロボットハンドユニットの採用により、ワークの形状を補正しながら取り出しを行い、且つ、次工程への確実なハンドリングを実現しました。
特殊チャンバーを採用し、真空圧、大気圧の差圧を利用でき、フィルムとウェーハ等の固体との貼り合せを実現しました。これにより、ワーク間に気泡混入を発生せず、且つ、ソフトタッチな貼り合せの為、薄厚ウェーハ等デリケートなワークに対しても負荷を大幅に軽減し、歩留り向上に貢献します。
