製品情報


ATRM-2200G 

特 長

  • 150μ厚ウェーハ、反りウェーハにも対応します。
  • シングルピッチ、倍ピッチキャリア対応できます。
  • UV照射ユニットとのドッキングによりUVテープにも対応できます。
  • その他、特殊ウェーハ・特殊テープ対応できます。

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