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テープ方式による剥離方法として、加熱・加圧・剥離角度・剥離スピードをコントロールする事により、ウェーハからのB/G保護テープ剥離、ドライレジストフィルムからのカバーシート剥離、及びラミネートフィルム剥離等、幅広い材料対応を実現しています。
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除電システムの採用により、フィルム剥離時に発生する静電気を速やかに除去し、ウェーハや液晶パネルにダメージを与えません。更に、特殊吸着テーブルの採用により、ワークにはフィルム剥離時のストレスを与えることなく、スムーズに剥離を行います。
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| ウェーハマウンター（ATM-12000DR) |
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