
前工程
![]()
![]()
![]()
![]()
![]()
![]()
後工程


ウェーハの裏面研磨
![]()
ウェーハをより軽く、薄くするために裏面を削ります。






ウェーハ裏面にDAF貼付した後、ウェーハをダイシングフレームに固定。
最後に表面保護テープを剥離する動作を一連で行います。
ストレスを与えること無く、ウェーハから支持基板を分離します。

DAF(スタックドIC)
ウェーハ裏面にDAFを貼ります。
![]()
![]()
![]()
![]()


ダイシング用ウェーハマウント













ウェーハのダイシング
![]()
ウェーハを切断し仕上がりをチェックし、良品だけがチップとして使用されます。

紫外線照射
一般半導体工程
ワイヤーボンディング
![]()
チップとリードフレームをボンディングワイヤー(約25ミクロンの金線等)で接続します。

パッケージング
![]()
チップをセラミックや、樹脂などのパッケージに封入します。

半導体完成
![]()
製品検査、信頼性試験に合格したら、半導体の完成です。
CSP工程
BGA工程
パッケージング
![]()
チップをセラミックや、樹脂などのパッケージに封入します。

ダイシング用サブストレートマウント

ダイシング
パッケージを切り分けます。
![]()
トレー収納
CSP
製品検査後、信頼性検査に合格したら、CSP半導体の完成です。
![]()
TAIKO®は、株式会社ディスコの日本国及びその他の国における登録商標です。