製品情報


ATM-8100S 

特 長

  • 厚さ150μ、反り5mmまでのウェーハに対応した全自動マウンターです。
  • 薄厚反りウェーハに対応として、真空チャンバー内でウェーハの反りを矯正保持します。
  • 各種テープに対応したテープテンションメモリー機能。
  • 50μ厚ウェーハ対応オプションとして、パターン認識アライメント・コインスタッカからの取り出し・前後工程装置(B/G装置・エッチング装置・DM-800BTEAM-200)とのドッキングが可能です。

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