株式会社タカトリ
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VTM-150M
特 長
ウェーハ表面の凹凸形状に対して、テンティング貼り/埋め込み貼り/厚膜貼り/コンフォーマル貼り/ガス封印貼り等の貼付けも可能。
貼り付けローラースピード/ローラーテーブル温度/真空圧貼り付け圧力の条件設定が可能、最適な貼付条件が出せます。
新規事業
MEMS用ドライフィルムレジスト(永久膜)貼付装置
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