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1.
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薄削りウェーハ用の保護テープ貼付装置です。
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2.
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ウェーハに保護テープをノーテンションで内貼りをします。
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3.
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真空チャンバー内でウェーハにテープを貼り付けますので、マイクロボイドの混入がありません。
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4.
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保護テープ以外にも、ドライレジストフィルム等への対応も可能です。（TEAM-100RF）
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1.
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テープのラミネート後、マイコン制御カッターによりウェーハの外形寸法に沿ってカットするため、高精度で気泡の無い均一なラミネートを行うことができます。
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2.
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マイコン制御によりノッチ及びあらゆる角度の第 2 オリフラ付のウェーハにも対応できます。( E タイプ)
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3.
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ランニングコストの低減が計れます。
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1.
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12インチ（300mm）径のウェーハに対応した保護テープ貼付装置です。
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2.
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ウェーハカセット部とメンテナンス部に仕切りを設け、メンテナンス部をクリーンルーム外に設置する事により、高クリーン度の必要な室内スペースを小さくすることができます。
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3.
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重量化対策を考慮し、テープ交換作業は装置背面からできる設計としました。
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4.
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対話方式による簡単操作。
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5.
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FOUPカセット対応、AGV・OHT通信機能対応（オプション）。
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1.
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真空チャンバー方式の採用により、ウェーハ/支持基板への気泡の混入がありません。 |
2.
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プレス機構の採用により、ウェーハ/支持基板を均一に貼り付けます。
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3.
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テープテンションコントロールシステムの採用により、幅広いテープ対応ができます。
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1.
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真空チャンバー方式の採用により、ウェーハ/支持基板への気泡の混入がありません。 |
2.
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プレス機構の採用により、ウェーハ/支持基板を均一に貼り付けます。
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3.
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テープテンションコントロールシステムの採用により、幅広いテープ対応ができます。
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4.
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8･12インチ対応 |
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1.
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本装置は、B/G工程の前装置としてウェーハ薄厚化に対応する為、予め特殊両面テープが貼付けられたウェーハと支持基板を真空状態内において貼り合わせを行う装置である。 |
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