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タカトリ製ウェーハマウンターは全機種、真空中でウェーハをマウントしますので、極等ウェーハ、樹脂面等にも無理のないマクロボイドレスの貼付けが実現できます。
1.
厚さ150μ、反り5mmまでのウェーハに対応した全自動マウンターです。
2.
薄厚反りウェーハに対応として、真空チャンバー内でウェーハの反りを矯正保持します。
3.
各種テープに対応したテープテンションメモリー機能。
4.
50μ厚ウェーハ対応オプションとして、パターン認識アライメント・コインスタッカからの取り出し・前後工程装置(B/G装置・エッチング装置・DM-800B・TEAM-200)とのドッキングが可能です。
1.
ウェーハマウントをした後、保護テープ剥離を行います。
2.
プリカットテープ・ロールテープ対応。
3.
オープンキャリア・プロトスからのウェハー供給可能。(プロトス対応はオプション)
1.
世界最小の全自動ウェーハマウンターです。( 8 インチ仕様)
2.
あらゆるテープのテンションコントロールが可能で後工程に合わせたベストコンディションが得られます。
3.
ID、バーコードシステム内臓です。(オプション)
1.
DAF付ダイシングテープ貼付、コインスタックからのウェハー供給を有しつつ、世界最小のフォトプリント。
2.
オプションによるグランダー/ポリッシャーとのインライン化により12インチウェハーで30μmからの極薄他プロセスに対応。
3.
1層DAFも貼付可能なタイプ[DTM-812X]もラインアップ。
1.
12インチ(300mm)径のウェーハに対応した全自動マウンターです。
2.
ウェーハマウントをした後、保護テープ剥離を行います。
3.
テープ交換・リング供給作業は装置背面に集中設置。
4.
FOUPキャリア対応可能。(オプション)
5.
B/G装置、エッチング・ポリッシング装置とのインラインドッキング対応。(オプション)
6.
コインスタックからの取り出し。(オプション)
1.
あらゆるテープのテンションコントロールが可能で後工程に合わせたベストコンディションが得られます。
2.
テープの送り、巻き取り、カットは自動で、離ケイ紙巻き取りシステムも可能です。( UV テープ使用可能)
3.
薄物ウェーハ対応。
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