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MEMS事業
MEMS:Micro Electro Mechanical Systems (微小電気機械システム)
MEMS用ドライフィルムレジスト(永久膜)貼付装置  VTM−150M
1.テンティング貼り 写真提供:日本化薬(株)【化薬マイクロケム(株)】殿
※25μm高さのL/S(100μm/245μm)に25μm厚さのSU-8をVTM-150Mでテンティング貼りした状態
1.埋め込み 写真提供:日本化薬(株)【化薬マイクロケム(株)】殿
※25μm高さのL/S(100μm/245μm)に25μm厚さのSU-8をVTM-150Mで埋め込み貼りした状態
3.厚膜貼り 写真提供:(株)メムス・コア殿
※厚さ50μmのSU-8をVTM-150Mで20層重ね貼りした状態 【段差(総厚さ):1mm】
4.コンフォーマル貼り 写真提供:(株)メムス・コア殿
※厚さ50μmのSU-8をVTM-150Mでコンフォーマル貼りした状態
 
注1)L/Sとはライン&スペース
注2)DFRとはドライフィルムレジスト

問合せ先: 刀根 (MEMS事業推進室)
TEL : (0744)24-8371/ FAX : (0744)24-6660
お問い合わせフォームはこちら
E-mail :info@takatori-g.co.jp
協賛企業:(株)メムス・コア日本化薬(株)【化薬マイクロケム(株)】

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