|
|
|
|
|
|
| MEMS：Micro Electro Mechanical Systems (微小電気機械システム） |
|
 |
|
 |
|
 |
|
| ウエハ対応サイズ |
150M：4、5、6インチ対応
200M：6、8インチ対応
（8、12インチ対応機の製作も可） |
| 貼り方 |
大気貼り対応
真空チャンバー内貼り対応
不活性ガスチャンバー 内貼り対応 |
| テーブルヒーター |
搭載 |
| 貼付ロールヒーター |
搭載 |
| 貼付ローラー圧 |
可変可 |
| 貼付高さ |
可変可 |
| フィルム供給方法 |
マニュアル方式 |
|
|
 |
|
| ・ |
一台で複数のＭＥＭＳ用、３次元構造体が作れる。 |
| ・ |
他のフィルムの貼り付けも可能。 |
| ・ |
今まで、ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰやｽﾌﾟﾚｰｺｰﾀｰでは困難だった貼り付けも可能。【VTM-150M貼り付け例を参照】 |
|
|
|
|
|
| 注１）本装置はメムス・コア社のイエロークリーンルームにあり。貼り付けテストはメムス・コア殿で有償対応が可能です。 |
|
|
| 協賛企業：（株）メムス・コア殿、日本化薬（株）【化薬マイクロケム（株）】殿 |
|
 |
|
 |
|
|
|
| ウエハ対応サイズ |
3、4ｲﾝﾁ対応 （今後、5、6、8ｲﾝﾁの対応も検討中） |
| 装置構成 |
XYZ軸ロボットにレーザーを搭載し、穴加工を高性能に制御 |
|
|
|
|
| ・ |
「ＣＯ２レーザーではガラスにまともな穴があかない」との常識を覆し、独自の技術でガラス に貫通電極用の穴を低価格であけることを実現。【特許出願中】 |
| ・ |
加工面が滑らかで、埋め込み電極材との密着性がよく、気密封止特性に優れる。
【次項のデータ参照】 |
| ・ |
多品種少ロット対応。（１枚だけの加工も可能。） |
| ・ |
３０００個までの穴であれば、CAD（DXF）データによる直接描画加工も可能。 |
| ・ |
穴あけのためのマスク不要。 |
|
|
 |
|
 |
|
|
注１）当面はメムス・コア社と連携を取りながら貫通配線付き封止用ガラス基板のみに対応させて頂きます。
注2） 現在はテンパックスガラス、パイレックスガラスに対応。（他の陽極接合用ガラスも開発を検討中。） |
|
|
| 協賛企業：（株）メムス・コア殿 |
| |
|
|
