製品情報


TEAM-300 

特 長

  • ウェーハ基準でアライメントを行いますので、マウント精度に影響を受けず、間違いの無い剥離を行います。
  • 保護テープ剥離始め部を温度コントロールする事により、ウェーハにストレスを与えず、間違いの無い剥離を行います。
  • UVユニット内蔵可能です。
  • ウェーハマウンター(ATM-12000DR)への内蔵タイプもラインアップしています。

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