製品情報

ATRM-2400TKUV　表面保護テープ剥離装置

特 長

  • TAIKO形状に合わせた、独自の搬送技術、並びに特殊ステージによる研削面非接触剥離技術の採用により、ウェーハにダメージを与えません。
  • 前号機（ATRM-2300TKUV）と比べ1/2のフットプリントとなり世界最小を実現。省スペース（W1000×D980mm)
  • UV照射機能内蔵型（オプション）
  • その他、ご要望に応じたカスタマイズ対応が可能です。

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