製品情報


表面保護テープ剥離装置 ATRM-2300

特 長

  • TAIKO形状に合わせた、独自の搬送技術、並びに特殊ステージによる研削面非接触剥離技術の採用により、ウェーハにダメージを与えません。
  • 剥離テープの使用量大幅削減を実現(省テープ剥離機構)。ランニングコスト低減に貢献します。
  • 非接触ハンド、UV照射機能等対応が可能です。(オプション)
  • その他、ご要望に応じたカスタマイズ対応が可能です。


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