製品情報


SAM-8C 

特 長

  • ウェーハを真空状態でテープに貼り付けることにより、気泡の発生が無く、ウェーハにダメージも与えない。
  • ウェーハパターン面、外周3mm以外保持によるコンタクトレステーブルを採用。(ウェーハ吸着は不要)
  • ウェーハマウント位置と、フレームテープ貼付位置を別々に配置することにより、テープの使用量が少なく済み、1枚のウェーハマウントの中に別の1枚のフレームのセッティングが可能な為、作業効率が上がる。
  • テープの送り、巻取り、カットは自動で、離ケイ紙巻取りシステムも可能です。(UVテープ使用可能)
  • タッチパネルでテーブル高さ調整可能

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