製品情報


MWS事業 ※MWS(マルチワイヤーソー)

結晶シリコン系

インゴット(単結晶 / 多結晶)

ウェーハスライス

代表機種

MWS-4450DD

洗浄~カセット収納

  • MWSから取り出し

  • 粗洗浄

  • ボンド剥離

  • カセット収納

代表機種

テクスチャー形成

pn接合形成(熱拡散)

酸化膜除去

反射防止膜形成

電極形成

結晶サファイア系

インゴット(単結晶)

ウェーハスライス

揺動しながらスライス

揺動円弧切断方式
ワークに点接触に近い状態で、ワイヤーが円弧状にスライス。接触部への集中的な荷重を加えることにより、高精度で、大量の加工を実現。


代表機種

MWS-812SD

MWS-612DD

MWS-612DR

ラッピング・ポリッシング

LED製造工程(概略)

  • エピタキシャルウェーハ

  • LEDチップ

  • LEDランプ


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