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搬送・駆動技術
アライメント技術
液晶パネルを組立てる工程ではガラスパネルにTCPを搭載し、更にはドライバー基板の接続と、信号を送るための電極を精度良く位置合せを行った後、ヒート圧着技術により貼り合せ結合する必要があります。 これらは、高分解能カメラによりアライメントマークを自動認識し、精密駆動制御軸により高精度にアライメントを実現しています。

TCP/PWB圧着装置
ハンドリング技術
極薄のウェーハにストレスを与えず搬送を行うため、ウェーハ全面を均等に吸着保持する高速高精度移載と、位置決めを実現しています。

ウェーハマウンター(DTM-812WR)
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